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半导体AMHS系统
Semiconductor AMHS Logistics System
半导体AMHS物流系统
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Automatic Material Handling System，针对半导体车间的自动物料搬送系统。
生产设备之间自动物料对接
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提高无尘室空间利用率
提高产品良率
减少人员误操作
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